| 型號 | NE-PE3000 |
| 控制系統(tǒng) | PLC+觸摸屏 |
| 等離子發(fā)生器 | 40KHz,0-20KW可調(diào)(選配),配置水冷 |
| 腔體尺寸 | 1150(W)×1750(D)×1500(H)mm(具體尺寸以實際為準),3018L |
| 有效處理空間 | 處理層數(shù)為7層 |
| 氣體控制 | 標配兩路氣體,MFC氣體質(zhì)量流量計精確控制,0-5000sccm |
| 真空泵 | 油泵/干泵 |
| 整機尺寸 | 2160(L)×2400(W) ×2200 (H)mm |
| 整機功率 | 55KW |
| 電源 | AC380V,50/60Hz,三相五線 |